檢測范圍:金屬及非金屬產品及材料內部缺陷無損檢測
檢測類型:孔隙、裂紋、夾雜物

利用X射線和CT完成集成電路及電子制造中的缺陷檢測、結構觀測、裝配檢測和二維快速檢測

檢測范圍:金屬及非金屬產品及材料內部缺陷無損檢測
檢測類型:孔隙、裂紋、夾雜物

還原產品內部情況,得到完整而立體的數據集,從而分析樣品缺陷和失效情況

滿足電子零件的微納米檢測需求,在預生產前期及時發現不合格的零件




2D X射線成像:主要用于PCB組裝缺陷檢測,因為它可以同時觀察PCB的所有層。這項技術是無損的,允許對任何無法通過顯微鏡、AOI或其他“表面”檢測方式檢查焊點的組件進行焊接質量檢查。這些組件包括但不限于 BGA、LGA 和 QFN。因此,2D X 射線成像主要用于查找焊料橋接、焊料空洞以及進行焊料空洞的面積計算。
3D 計算機斷層掃描 (CT) 成像:用于對整個 PCB 及其組件進行定性和定量缺陷分析。CT可以單獨解析PCB的每一層,因此可以在PCB本身內檢測到斷開、分層和其他缺陷。CT 還允許對組件及其內部工作原理(例如鍵合線)進行全 3D 渲染。CT工藝要求將樣品夾在主軸上并旋轉360度,同時保持在X射線管上方,因此最適合用于小型,重量輕的樣品。

在對IC封裝的質量抽查中,X射線檢測設備通常用于檢測鍵合線、芯片鍵合、成型和密封等典型缺陷多發地帶。然而,小型化、新型材料的使用和芯片復雜性的增加,使X射線檢測面臨挑戰。
小型化:內部結構的密度更高,尺寸更小,例如微孔和倒裝芯片互連,要求在最高放大倍數下達到亞微米范圍的分辨率,如新型納米焦點。
新型材料的使用:非導電芯片粘合劑或銅鍵合線的普通X射線成像效果不好(高吸收材質:銅、鋼、錫合金等)
芯片復雜性:例如堆疊,導致二維X射線圖像令人困惑。IC封裝中,內部鍵是倒裝芯片焊點,其特征和缺陷類似于電子組裝中已知的區域陣列焊點。需要適當的圖像分辨率來檢測微米范圍內的空隙和形狀偏差等缺陷。
要解決這些新問題,采用納米焦點X射線和高分辨率的CT是IC封裝檢測的未來趨勢。